勇担“国之使命”：一名旅美博士的归国路

　　“葡萄和玉米都迎来了收获的季节，国家交给我的重大项目，什么时候才能结出硕果呢？”站在窗前，望着葡萄园和玉米田，姜谦陷入沉思。

　　姜谦是沈阳拓荆科技有限公司总经理。他祖籍辽宁，生于台湾，美国布兰迪斯大学物理学博士，主要专长是半导体先进工艺技术及工艺集成等领域，曾在英特尔公司工作19年，担任研发部负责人。

　　回国前，他任美国诺发公司(美国第二大IC装备企业)技术副总裁，在集成电路工艺方面有很深造诣，其多项关键发明成为半导体行业国际标准，拥有50余项专利，在行业内被誉为具有“一个人带动一个产业”的能力。

　　鉴于他的行业影响力，在中科院和沈阳市政府的邀请下，2005年，姜谦返回祖国、返回家乡，担任在辽宁省内落实的国家级科研项目的负责人。

　　虽然论血缘，姜谦是地地道道的东北人，他父亲是辽宁辽阳人、母亲是吉林白城人，但他与东北的真正情缘，是在一次邂逅中建立的。

　　2005年，中科院和沈阳市政府派出代表团赴美国招商访问，作为接待方的“驻美中国东北同乡会”负责人，希望能够找到一位“有权威、有份量”的东北同乡来迎接代表团。于是，姜谦作为东北同乡的杰出代表，陪伴国内代表团考察、访问。

　　当时全球IC设备市场完全被美、德、日、瑞士等生产商垄断，中国在该领域的发展刚刚起步，需要一位行业权威带领中国IC装备制造业突出重围，突破欧美国家的技术封锁。

　　姜谦所任职的企业，完全控制在白人高管的手中，作为研发主管的他，曾经提议将研发中心搬迁到亚洲，却遭到了白人领导层的反对和抵制。

　　姜谦和代表团的这次邂逅，让双方一下子找到了寻觅已久的“梦中情人”并成功“牵手”。姜谦放弃了在美国优越的生活，回国创业。而中科院和沈阳市政府也将把“国之使命”交付给这位国际知名专家。

　　2006年，姜谦回到祖国，来到了沈阳浑南国家级高新技术产业园区创业，成立了沈阳拓荆科技有限公司。他还作为沈阳市政府顾问，对沈阳发展IC装备业提出了很多建设性的意见，为沈阳的IC装备产业在全国树立领军地位，奠定了决定性的基础。

　　姜谦短时间就完成了国家发改委项目“IC成膜6英寸PECVD设备研发及产业化”的研发，质量和品质达到国际先进水平，填补了国内该领域应用的空白，现已批量生产和销售，被评为国家重点新产品。

　　经过多年努力，2011年10月，由姜谦担纲的国家重大科技专项的首台国产12英寸PECVD样机出厂，指标达到设计要求，这是我国自主开发研制的首台12英寸PECVD设备，是关键IC装备国产化的重大突破。

　　12英寸PECVD技术一直被欧美以及日本等国家所垄断，设备进口受到发达国家的严格限制。拥有完全自主知识产权的12英寸PECVD设备样机成功研发，不仅标志着我国在集成电路高端设备(PECVD)研究和制造领域技术达到了国际先进水平，使我国IC薄膜设备制造水平与国际IC制造业主流技术水平保持同步，还从根本上打破了国外产品的市场垄断和技术垄断，而且确立了沈阳在全国的集成电路装备研发与制造领域同北京、上海三足鼎立的地位。(记者：王晨)